东芯（苏州）科技有限公司年产蚀刻机气相沉积腔体1万套项目

环境影响评价公示

为了听取项目所在区域的企事业单位和个人对该建设项目在环境保护方面的意见和要求，现将其环境影响报告表予以公示。

一、建设项目名称及概要

项目名称：2303-320553-89-01-787626年产蚀刻机气相沉积腔体1万套项目

项目性质：新建

投资总额：1000万元

行业代码：C3569 其他电子专用设备制造

建设地点：苏州市吴江区盛泽镇圣塘村（东武精密机械有限公司内）

东芯（苏州）科技有限公司位于苏州市吴江区盛泽镇圣塘村，经营范围：经营范围包括一般项目：电力电子元器件制造；电力电子元器件销售；电子元器件制造；电子元器件批发；电子元器件与机电组件设备制造；电子元器件与机电组件设备销售；电子专用材料制造；电子专用材料销售；电子专用材料研发；光电子器件制造；光电子器件销售；电子专用设备制造；电子专用设备销售；其他电子器件制造；机械电气设备制造；先进电力电子装置销售；集成电路制造；集成电路销售；集成电路设计；集成电路芯片及产品销售；集成电路芯片及产品制造；显示器件制造；显示器件销售；合成材料制造（不含危险化学品）；化工产品销售（不含许可类化工产品）；电子产品销售；金属材料制造；金属制品销售；新型陶瓷材料销售；特种陶瓷制品销售；电池制造；电池销售；电子、机械设备维护（不含特种设备）；新能源原动设备制造；光伏设备及元器件制造；光伏设备及元器件销售；新能源汽车废旧动力蓄电池回收及梯次利用（不含危险废物经营）；智能输配电及控制设备销售；新能源原动设备销售；新兴能源技术研发；新材料技术研发；新材料技术推广服务；技术服务、技术开发、技术咨询、技术交流、技术转让、技术推广；货物进出口；技术进出口（除依法须经批准的项目外，凭营业执照依法自主开展经营活动）。

蚀刻设备是重要的半导体设备，近年来，在中国半导体蚀刻行业受到各级政府的高度重视和国家产业政策的重点支持。国家陆续出台了多项政策，鼓励半导体蚀刻行业发展与创新。《关于加强产融合作推动工业绿色发展的指导意见》提出，要加快发展战略性新兴产业，加快电子信息技术与清洁能源产业融合创新，推动新型光伏半导体产业突破，引导智能光伏产业高质量发展。

本项目生产的蚀刻机气相沉积腔体主要组成为半导体设备反应腔及密封圈，作为蚀刻设备零部件，广泛应用于半导体蚀刻机的加工生产。

综上所述，东芯（苏州）科技有限公司拟投资1000万元，租赁东武精密机械有限公司现有闲置空厂房，建设年产蚀刻机气相沉积腔体1万套项目。

根据《中华人民共和国环境保护法》、《建设项目环境保护管理条例》有关规定，东芯（苏州）科技有限公司2303-320553-89-01-787626年产蚀刻机气相沉积腔体1万套项目已在盛泽镇人民政府取得了备案（盛政备[2023]73号）。

二、建设项目对环境可能造成的影响

1、废气：本项目挤出、热压定型、烘烤过程产生的废气经集气罩收集后通过一套“二级活性炭吸附装置”处理后通过15米高排气筒（1#）排放。挤出、热压定型、烘烤过程未收集的废气以及手工打磨废气均在车间内无组织排放。

2、废水：本项目员工生活污水排入市政污水管网。

3、固废：本项目实施后，项目对其产生的固废进行分类收集，其中废边角料、不合格品委托一般固废处置单位处理；废活性炭由有资质单位处理；生活垃圾交由环卫部门处置。本项目固废均得到妥善的处理处置，对外实现零排放。项目各类固体废物可得到有效处置，对周围环境影响较小。

4、噪声：本项目噪声源强较低，采取一定的措施后，项目噪声能够达标排放，对周围声环境影响较弱，不会产生噪声扰民现象。

三、环境影响报告表提出的环境影响评价结论的要点

本项目在落实本环评提出的各项污染防治措施后，污染物均能达标排放，符合总量控制，节能减排原则，项目实施后各污染物经治理达标排放后对周围环境的贡献量较小，当地环境质量仍能维持现状。通过对项目所在地区的环境现状评价以及项目的环境影响分析，在严格落实环评提出的各项污染防治措施后，可以认为从环保角度而言可行。

上述评价结果是仅根据建设方提供的规模、工艺、布局所做出的，如建设方扩大规模、变动工艺、改变布局，建设方必须按照建设项目环境管理程序要求，进行申报审批。

四、公众查阅环境影响报告表的方式

自公告之日起公众可以在网站查询本项目环境影响报告表全本，必要时可通过电子邮件、电话、传真、信函等方式向建设单位或评价单位索取更多相关补充信息。

五、征求公众意见的范围及主要事项

本项目公众参与调查的对象主要是在沿线居住的公众。公众对建设项目有环境保护意见的，可向建设单位和环评单位提出，并留下姓名、联系方式、联系地址。

征求公众的主要意见包括当地环境质量现状，对本工程的了解程度，工程建设及运营对工作生活的影响程度，对工程建设的态度以及其他意见和建议。

六、征求公众意见的具体形式

公众可通过电话、传真、信函、电子邮件等形式将意见反馈，也可直接向建设单位或环评单位的联系人，当面反馈意见。

（1）建设单位联系方式

建设单位：东芯（苏州）科技有限公司

联系人：李浩

联系地址： 苏州市吴江区盛泽镇圣塘村（东武精密机械有限公司内）

联系电话：13962505053

2）环境影响评价机构的名称和联系方式

环境影响评价单位：苏州绿鹏环保科技有限公司

地址：苏州市吴江区松陵镇开平路789号金城大厦1401

联系人：房银珠

电话：0512-63489710